高温大压力传感器研究现状
一般地，当压力范围在10～100 MPa之间时，称之为大压力，大于100 MPa的压力为超大压力。高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器[1]。
近年来，随着MEMS技术的发展，微机械压力传感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得到了广泛的应用[1,2]。然而，该类传感器在超过120℃环境下使用时，会由于内部PN结出现漏电而导致传感器性能急剧下降，进而导致失效[3,4,5,6]。因此，如何把MEMS技术的优势和现有的技术相结合，通过改进工艺、选择新型的耐高温材料，进而克服MEMS传感器的上述缺点，成为目前国内外研究的重中之重。该研究目前也取得了巨大进展，多种类型材料组合形成的新型敏感元件纷纷问世。
压力传感器使用领域
1.压力传感器在称重系统中的应用越来越多，压力传感器在工业控制技术的商业称重系统中的应用也越来越多。在许多压力控制过程中，通常需要收集压力信号，并将其转化为可自动控制的电信号。压力传感器制成的压力控制装置通常被称为电子称重系统。作为各种工业过程中物料流动的在线控制工具，它变得越来越重要。电子称重系统不仅可以优化生产，提高产品质量，还可以将生产过程中的收集传输到数据处理中心，进行在线库存控制和财务结算。在称重过程的自动控制中，要求压力传感器不仅能感知重力信号，而且，动态响应好，抗干扰性能好；
2.压力传感器提供的信号可以通过检测系统直接显示、记录、打印、存储或用于反馈调节和控制。压力传感器和测量电路通过集成技术集成，大大降低了整个设备的体积。此外，随着屏蔽技术的发展，称重压力传感器的抗干扰能力将得到保证，称重过程的自动控制程度将进一步提高。
传感器的耐温性是如何
与所有物理设备系统一样，压力传感器在温度环境中可能是错误的甚至是不可用的。通常，每个传感器都有两个温度范围，即工作范围和补偿范围，补偿范围包含在工作范围内。
工作范围意味着在此范围内，传感器可以在通电后暴露在介质中而不会损坏。但是，这并不表示当处于补偿范围以外的时候其性能也能达到标称的规格(温度系数)。
补偿范围一般是在工作范围之内的一段更狭窄的范围。在这个范围内，传感器确保可以达到标称的规格。
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