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压力传感器工作原理

1.折叠半导体压电阻

半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力,通过外力(压力)使薄片变形而产生压电阻抗效果,从而使阻抗的变化转换成电信号。

2.折叠静电容量型压力传感器

静电容量型压力传感器,是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容,将通过外力(压力)使可动

极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。 (E8Y的动作原理便是静电容量方式,其他机种采用半导体方式)。










常见的压力类型-压力传感器

1、“ 表压 ”。

参照大气压力(通常为14.7 PSI)进行测量。表压以大气压为基准的流体指示压力,可用压力传感器测得,称为表压,即:压力-大气压=表压。表压在真空行业特指:用普通真空表(相对压力表)测得的气体相对压力值,用负数表示,是指被测气体压力与大气压的差值。也叫负压。

当高于大气压时,您将显示一个“正”压力;当低于大气压时,您将显示一个“负”压力。

2、“ 绝压 ”。

简而言之,这是相对于真空测量的压力。完全真空的压力为零PSI,并从那里开始增加。压力是相对零压力而言的压力。相对应的,表压力(相对压力):如果压力和大气压的差值是一个正值,那么这个正值就是表压力.例如我们所处的环境为一个标准大气压,那么压力就是1atm,表压就是0Pa。即表压力=压力-大气压>0。如果小于0就叫真空度。绝压PaA,表压PaG。

压力传感器非线性是什么意思

压阻式压力传感器常用桥式测量电路(惠思登电桥),在初始状态时,四个桥臂电阻值保持一致,当输入外力作用时,桥臂电阻平衡状态就会打破,此时输出端就会出现电位差,输出电压的大小与供电电压以及桥臂电阻的相对变化量成一定比例,这个桥臂电阻的相对变化量就决定着传感器非线性的大小。

而每个压阻式压力传感器在制造过程中采用一些特殊工艺,如老化、压力冲击、焊接等,均会对传感器性能产生不同程度的影响,再者,扩散硅芯片在实际生产工艺中,4个桥臂电阻值很难保持一致,因此,每只传感器都有标称的非线性度。

既然非线性如此重要,那如何计算出传感器的非线性数值呢?首先,让压力传感器在规定温度环境下,给压力传感器加压测试,从零点加到满量程,待压力稳定后,返回零点。然后在包括传感器测量上、下限的全量程范围内,选择均匀分布的6~11个试验点进行测试,并且重复三次或三次以上的升、校准循环测试。